我国首台！芯片制造核心装备取得重要突破

2026-01-17 20:42来源：科技日报

　　◎ 科技日报记者都芃

　　记者17日从中核集团中国原子能科学研究院获悉，由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链中的关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。

我国首台！芯片制造核心装备取得重要突破

　　离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”，是半导体制造不可或缺的“刚需”设备。长期以来，我国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，其研发难度大、技术壁垒高，是制约我国关键技术产业升级发展的瓶颈之一。

　　中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，以串列加速器技术作为核心手段，破解一系列难题，完全掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力，打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，更为助力“双碳”目标实现、加快发展新质生产力提供强有力技术支撑。

　　文中图片来自中核集团

[责任编辑: ]

阅读剩余全文（）

为你推荐

携手攻坚恢复家园

7月14日，在广西南宁横州市云表镇，人们在清理洪水消退后的街道（无人机照片）。受台风“美莎克”带来的持续强降雨影响，广西多地发生严重洪涝灾害。受台风“美莎克”带来的持续强降雨影响，广西多地发生严重洪涝灾害。

16日

老社区新生活

拼版照片：上图为2018年7月20日拍摄的改造更新前的四川省达州城市运动公园二期项目（无人机照片，新华社发）；下图为2026年7月14日拍摄的改造更新后的四川省达州城市运动公园二期项目（无人机照片，新华社记者王曦摄）。

16日

“冬病夏治”入伏时

2026年三伏天于7月15日开启，人们通过“冬病夏治”传统疗法，增强身体抵抗力。2026年三伏天于7月15日开启，人们通过“冬病夏治”传统疗法，增强身体抵抗力。2026年三伏天于7月15日开启，人们通过“冬病夏治”传统疗法，增强身体抵抗力。

16日

这就是众志成城的力量

风雨终会过去，掌心留存温暖，这一双双平凡之手，十指相牵，凝聚应对灾害的磅礴力量，筑起温暖的生命防线。风雨终会过去，掌心留存温暖，这一双双平凡之手，十指相牵，凝聚应对灾害的磅礴力量，筑起温暖的生命防线。

15日

辽宁遭遇强降雨多地转移安置群众

7月14日，铁岭开原市公安局靠山派出所工作人员在金龙村转移群众。近日，辽宁多地遭遇强降雨天气，部分地区发生洪涝灾害。近日，辽宁多地遭遇强降雨天气，部分地区发生洪涝灾害。

15日

成渝中线高铁成都站高架广场主体结构完工

7月14日，成渝中线高铁成都站改扩建工程9.6万平方米高架广场顺利完成混凝土浇筑，主体结构全面完工，标志着成都站改扩建工程正式转入装饰装修、钢结构安装攻坚阶段。7月14日，成渝中线高铁成都站改扩建工程9.6万平方米高架广场顺利完成混凝土浇筑，主体结构全面完工，标志着成都站改扩建工程正式转入装饰装修、钢结构安装攻坚阶段。

15日