国际最高水平！我国首颗6英寸氧化镓单晶成功制备

2023-02-28 15:56来源：光明日报

近日，中国电科46所成功制备出我国首颗6英寸氧化镓单晶，达到国际最高水平。氧化镓是新型超宽禁带半导体材料，拥有优异的物理化学特性，在微电子与光电子领域均拥有广阔的应用前景。但因具有高熔点、高温分解以及易开裂等特性，因此，大尺寸氧化镓单晶制备极为困难。

中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方向，从大尺寸氧化镓热场设计出发，成功构建了适用于6英寸氧化镓单晶生长的热场结构，突破了6英寸氧化镓单晶生长技术，具有良好的结晶性能，可用于6英寸氧化镓单晶衬底片的研制，将有力支撑我国氧化镓材料实用化进程和相关产业发展。（光明日报全媒体记者崔兴毅通讯员高丹尚素娟）

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